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1200℃預加熱滑動雙溫區/多溫區PECVD系統

產品應用:PECVD系統是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。

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預加熱滑動雙溫區/多溫區PECVD系統

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    • 商品名稱: 1200℃預加熱滑動雙溫區/多溫區PECVD系統
    • 商品編號: 1034429634549997568

    產品應用:PECVD系統是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。

    銷售熱線:15122725930 

     

    產品應用:

    PECVD系統是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。

    產品組成:

    PECVD系統配置:

    1.1200度開啟式雙溫區真空管式爐

    2.滑動系統分為手動、電動滑動,并配置管內測溫系統。

    3.預加熱開啟式管式電爐

    4.等離子射頻電源

    5.多路質量流量控制系統

    6.真空系統(可選配中真空或高真空)  

    產品特點:

    生長溫度低;沉積速率快;成膜質量好,適用范圍廣,設備簡單。

    關鍵詞:
    • 預加熱滑動雙溫區/多溫區PECVD系統
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