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1200℃滑動式單、雙、三溫區CVD系統

產品用途:此款CVD系統適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結真空淬火退火,快速降溫等工藝實驗。

關鍵詞:

CVD系統

圖片名稱

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    • 商品名稱: 1200℃滑動式單、雙、三溫區CVD系統
    • 商品編號: 1034429691655446528

    產品用途:此款CVD系統適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結真空淬火退火,快速降溫等工藝實驗。

    銷售熱線:15122725930 

     

    產品用途:

    此款CVD系統適用于CVD工藝,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構的可控

    生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結真空淬火退火,快速降溫等工藝實驗。

     

    產品組成:

    CVD系統配置:

    1.1200度開啟式真空管式爐(可選配多溫區)。

    2.滑動系統分為手動、電動滑動,并配有風冷系統。

    3.多路質量流量控制系統

    4.真空系統(可選配中真空或高真空)    

     

    產品特點:

    1 控制電路選用模糊PID程控技術,該技術控溫精度高,熱慣性小,溫度不過沖,性能可靠,操作簡單。

    2 氣路快速連接法蘭結構采用本公司設計,提高操作便捷性。

    3 中真空系統具有真空度上下限自動控制功能,高真空系統采用高壓強,耐沖擊分子泵,防止意外漏氣造成分子泵損壞,延長系統使用壽命。

    4 (電動)滑動系統采用溫度控制器自動控制爐體移動,等程序完成,爐體按設定的速度滑動,因有滑動限位功能爐體不會發生碰撞,待樣品露出爐體后,通過風冷系統快速降溫。

    關鍵詞:
    • CVD系統
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